钛靶、高纯靶、钛铌靶、锆靶、镍靶、铬靶等主要应用

发布时间: 2017-10-20 15:26:22    浏览次数:

简单说的话,锆靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、铬、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 

主要应用在: 

1、微电子领域 

2、平面显示器用靶材 

3、存储技术用靶材等

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